[发明专利]物理量传感器及电子设备有效
| 申请号： | 201210291170.0 | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN102954806A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 與田光宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01P3/44;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种物理量传感器及电子设备，其能够提高检测精度等的检测特性。该物理量传感器具备：底基板；可动部，其被配置于设置在底基板的主面上的底基板上；可动电极部，其被设置在可动部上；固定电极部，其被设置在底基板的主面上，且与可动电极部对置配置，固定电极部与被设置在底基板的主面侧的固定电极用配线相连接，可动电极部与被设置在底基板的主面侧的可动电极用配线相连接，在固定电极用配线与可动电极用配线之间设置有屏蔽部。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动部，其被支承在所述基板上；可动电极部，其被设置在所述可动部上；固定电极部，其被设置在所述基板的主面上，且与所述可动电极部对置配置，所述固定电极部与被设置在所述基板的所述主面上的固定电极用配线相连接，所述可动电极部与被设置在所述基板的所述主面上的可动电极用配线相连接，在所述固定电极用配线与所述可动电极用配线之间的至少一部分上，设置有第一屏蔽部。
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