[发明专利]一种快速制备纳米结构阵列的装置及方法

摘要

本发明公开了一种快速制备纳米结构阵列的装置及方法。该装置包括：夹具，夹持一金属片；喷嘴，设置成与金属片相对，以适于向金属片的表面喷射电解液；马达，与夹具相连接用以驱动夹具相对喷嘴旋转、垂直移动或者水平移动；可变直流电源，该可变直流电源的阳极电连接金属片，可变直流电源的阴极电连接喷嘴；腔体，适于回收喷射到金属片表面的电解液；及制冷装置，与腔体和喷嘴相连接，该制冷装置能够冷却腔体中的电解液并将冷却后的电解液供应给喷嘴。本发明通过将电解液回收并冷却后再次供应给喷嘴，并由喷嘴喷射至金属片的表面进行电化学阳极氧化，因而可以消除因提高电化学阳极氧化电压而产生的热量，使得可以通过提高电化学阳极氧化电压来提高纳米结构阵列的制备速率，此外，该装置也适用于制备大面积纳米结构阵列。

主权项

1.一种快速制备纳米结构阵列的装置，包括：一夹具，夹持一金属片；一喷嘴，设置成与所述金属片相对，以适于向所述金属片的表面喷射电解液；一马达，与所述夹具相连接用以驱动所述夹具相对所述喷嘴旋转、垂直移动或者水平移动；一可变直流电源，所述可变直流电源的阳极电连接所述金属片，所述可变直流电源的阴极电连接所述喷嘴，所述可变直流电源与电压控制器相连接，电压控制器控制所述可变直流电源的电压输出；一腔体，适于回收喷射到所述金属片表面的电解液；及一制冷装置，与所述腔体和所述喷嘴相连接，所述制冷装置能够冷却所述腔体中的电解液并将冷却后的电解液供应给所述喷嘴；所述腔体与所述制冷装置之间设置有一电解液槽，所述电解液槽分别与所述腔体和所述喷嘴连通，所述腔体中的电解液被引入所述电解液槽，并经由所述电解液槽流入所述制冷装置中进行冷却，冷却后的电解液被引回到所述电解液槽，由所述电解液槽供应给所述喷嘴；所述电解液槽与所述喷嘴之间设置有一流量控制器，该流量控制器适于调节电解液的压力和流量以将具有一定压力和流量的电解液供应给所述喷嘴；依据所需氧化物的厚度，所述马达驱动所述夹具以设定的角速度或者线速度相对所述喷嘴旋转、垂直移动或者水平移动，以在金属片上制备大面积纳米结构阵列。