[发明专利]物理量传感器及电子设备

摘要

本发明提供一种物理量传感器及电子设备，所述物理量传感器能够提高检测灵敏度。加速度传感器具备：底基板，其上设置有第一凹部；传感器部，其被配置在第一凹部上，且通过支承部而以能够在第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承，传感器部以支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在第一部分以及第二部分上具有可动电极部，并且，在与第一部分相比质量较大的第二部分上，至少于顶端侧形成有贯穿孔，底基板在第一凹部中的与可动电极部对置的位置处具备固定电极部，在与传感器部的顶端侧对置的部分处，设置有与第一凹部相比较深的第二凹部。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：底基板，其上设置有第一凹部；传感器部，其被配置在所述第一凹部上，且通过在第一轴方向上延伸的支承部，而以能够在所述第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承，所述传感器部以所述支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在所述第一部分以及所述第二部分上具备可动电极部，并且，与所述第一部分相比所述第二部分的质量较大，在所述第一部分以及所述第二部分这两方上设置有贯穿孔，所述底基板于在俯视观察时与所述可动电极部重叠的位置处具备固定电极部，并且，于在俯视观察时与所述传感器部的顶端重叠的位置处，设置有与所述第一凹部相比较深的第二凹部，所述第一凹部被设置为，随着从所述传感器部的所述支承部趋于所述顶端，与所述传感器部之间的间隙增大，在所述第一凹部内设置有所述固定电极部。