[发明专利]具有选择性射极结构的太阳能电池及其制造方法

摘要

一种具有选择性射极结构的太阳能电池及其制造方法，是由单晶或多晶且具有电性掺杂的硅基板制造而成。首先在硅基板的受光侧表面形成数条沟槽，经过一次电性掺杂元素的掺杂后，再进行选择性的蚀刻，使非沟槽区域形成具有较低掺杂的浓度，而沟槽区域维持原有的较高掺杂浓度，以致形成选择性射极的结构。

主权项

一种具有选择性射极结构的太阳能电池，是由单晶或多晶且具有电性掺杂的硅基板制造而成，其特征在于：该硅基板受光侧具有数条沟槽，且各沟槽的深度在0.5μm至100μm之间，并且该硅基板受光侧表面含有第一表面区域与第二表面区域，其皆含有异于该硅基板电性掺杂之外的电性掺杂，其中该第一表面区域包括该数条沟槽区的表面含有第一掺杂层，而该第二表面区域包括该硅基板受光侧的非沟槽区的表面含有第二掺杂层；上述该硅基板受光侧表面的第一掺杂层与第二掺杂层，是于形成有数条沟槽的硅基板受光侧表面经过高浓度的电性掺杂扩散后，经由涂布一阻挡层于该些沟槽区，并以化学湿式蚀刻蚀去非沟槽区表面的一部分厚度，使该区域形成具有较低掺杂浓度的第二掺杂层，而沟槽区表面则维持原始高浓度的电性掺杂而形成该第一掺杂层。