[发明专利]电容器结构无效
| 申请号： | 201210295634.5 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102800646A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 刘珂;杜占坤;马骁;邵莉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/528 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波;何平 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电容器结构，包括：位于第一金属层中的第一插指阵列和第二插指阵列，第一插指阵列中的插指和第二插指阵列中的插指交错排列，并且第一插指阵列中的插指电连接在一起，第二插指阵列中的插指电连接在一起；位于与第一金属层相邻的第二金属层中的第三插指阵列和第四插指阵列，其中第三插指阵列中的插指和第四插指阵列中的插指交错排列，并且第三插指阵列中的插指电连接在一起，第四插指阵列中的插指电连接在一起；其中在俯视图中，第三插指阵列中的插指与第二插指阵列中的插指重叠，第四插指阵列中的插指与第一插指阵列中的插指重叠，并且第一插指阵列中的插指与第三插指阵列中的插指电连接，第二插指阵列中的插指与第四插指阵列中的插指电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 | ||
【主权项】：
一种电容器结构，包括：位于第一金属层中的第一插指阵列和第二插指阵列，其中第一插指阵列中的插指和第二插指阵列中的插指交错排列，并且第一插指阵列中的插指电连接在一起，第二插指阵列中的插指电连接在一起；位于与第一金属层相邻的第二金属层中的第三插指阵列和第四插指阵列，其中第三插指阵列中的插指和第四插指阵列中的插指交错排列，并且第三插指阵列中的插指电连接在一起，第四插指阵列中的插指电连接在一起；其中在俯视图中，第三插指阵列中的插指与第二插指阵列中的插指重叠，第四插指阵列中的插指与第一插指阵列中的插指重叠，并且第一插指阵列中的插指与第三插指阵列中的插指电连接，第二插指阵列中的插指与第四插指阵列中的插指电连接。
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