[发明专利]带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路有效
| 申请号： | 201210295758.3 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN103630290A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 杨利;孙希 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 发明公开了一种带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，包括下腔体、压力计焊接管路、加热器及压力计，其中所述加热器用于对所述下腔体、压力计焊接管路及压力计进行加热，所述压力计用于测量所述铝刻蚀腔内的压力值其特征在于：所述加热器及所述压力计焊接管路中间加装有一旁路。本发明带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，可以使铝刻蚀工艺反应物主要沉积在旁路中，有效的减少铝刻蚀工艺反应物在压力计内部传感器表面的沉积及腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 旁路 保护 刻蚀 压力计 管路 | ||
【主权项】：
一种带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，包括下腔体、压力计焊接管路、加热器及压力计，所述下腔体及所述加热器通过所述压力计焊接管路相连接，所述压力计与所述加热器相连接，其中所述加热器用于对所述下腔体、压力计焊接管路及压力计进行加热，所述压力计用于测量所述铝刻蚀腔内的压力值，其特征在于：所述加热器及所述压力计焊接管路中间加装有一旁路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司，未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210295758.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
