[发明专利]加速度传感器的单片闭环集成电路

摘要

本发明涉及一种加速度传感器的单片闭环集成电路，其包括电荷放大器、整流器、低通滤波器、缓冲器、PID电路、高压驱动电路；电荷放大器与加速度传感器的输出端相连接；整流器与电荷放大器的输出端相连接；低通滤波器与整流器的输出端相连接；缓冲器与低通滤波器的输出端相连接；PID电路与缓冲器的输出端相连接；高压驱动电路的输入端与PID电路的输出端相连接，高压驱动电路的输出端与加速度传感器的敏感结构相连接。本发明的单片闭环集成电路适用于加速度传感器，其可以很好的改善加速度传感器的电容变化的非线性和频率特性。

主权项

一种加速度传感器的单片闭环集成电路，应用于加速度传感器中以对其进行信号处理，其特征在于：其包括电荷放大器，所述的电荷放大器与所述的加速度传感器的输出端相连接，并完成电荷‑电压转换；整流器，所述的整流器与所述的电荷放大器的输出端相连接，所述的整流器将所述的电荷放大器的输出信号转变为正向输出信号；低通滤波器，所述的低通滤波器与所述的整流器的输出端相连接，所述的低通滤波器对所述的正向输出信号中的载波信号滤除；缓冲器，所述的缓冲器与所述的低通滤波器的输出端相连接，所述的缓冲器将所述的低通滤波器的输出信号缓冲输出；PID电路，所述的PID电路与所述的缓冲器的输出端相连接，所述的PID电路将所述的缓冲器输出的开环信号进行比例、积分、微分运算；高压驱动电路，所述的高压驱动电路的输入端与所述的PID电路的输出端相连接，所述的高压驱动电路的输出端与所述的加速度传感器的敏感结构相连接；所述的高压驱动将所述的PID电路的输出信号进行处理后以驱动所述的加速度传感器的敏感结构。