[发明专利]轴锥镜透射波面的测量方法

摘要

一种轴锥镜透射波面的测量方法，包括①制备凹面锥形反射镜、②安装测试装置、③调整光路和④测量四个步骤，该方法具有装置简单、对轴锥镜的锥角没有限制和易于测量等优点。

主权项

1.一种轴锥镜透射波面的测量方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：①制备凹面锥形反射镜：根据待测轴锥镜制作与之匹配的凹面锥形反射镜（4）：该凹面锥形反射镜（4）的锥角式中β=arcsin{nsin[θ-arcsin(sinθn)]}]]>表示待测轴锥镜（3）对光束的折射角，其中n，θ分别为待测轴锥镜（3）的折射率和锥角；凹面锥形反射镜（4）的半径R1≥Rcosβ，其中R表示透过待测轴锥镜（3）的光束的半径；②安装测试装置：在移相干涉仪（1）输出的平行光束方向依次置入平面标准镜（2）、待测轴锥镜（3）和凹面锥形反射镜（4），所述的待测轴锥镜（3）的锥面朝向移相干涉仪（1）的出光方向，所述的凹面锥形反射镜（4）的凹面朝向移相干涉仪（1）的出光方向；③调整光路：调整所述的平面标准镜（2）的平行平面与所述的平行光束垂直；调整所述的待测轴锥镜（3）的平面与测量光束垂直，同时保证待测轴锥镜（3）的中轴与移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合；调整所述的凹面锥形反射镜（4），使所述的凹面锥形反射镜（4）的中轴与待测轴锥镜（3）的中轴重合；④测量：所述的移相干涉仪（1）出射的光束经所述的平面标准镜（2）形成平行的测量光束，经所述的平面标准镜（2）返回的光束称为参考光束；所述的测量光束透过所述的待测轴锥镜（3）经所述的凹面锥形反射镜（4）反射沿原路返回，该原路返回的测量光束与平面标准镜（2）返回的参考光束产生干涉条纹；调整待测轴锥镜（3）和凹面锥形反射镜（4）之间的距离获得清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪（1）检测所述的干涉条纹，得到待测轴锥镜（3）的透射波面。