[发明专利]一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪

摘要

一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标，经待测目标反射后的光束沿原光路返回，返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD；经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光，透射光入射至小视场CCD；反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明适用于显微监测。

主权项

一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，其特征是：它包括一号反射镜（1‑2）、主物镜（1‑3）、一号分光镜（1‑4）、小视场CCD（1‑5）、二号反射镜（1‑6）、准直物镜（1‑7）、二号分光镜（1‑8）、准直CCD（1‑9）、分划板（1‑10）、光源（1‑11）、一号次物镜（1‑12）、三号反射镜（1‑13）、二号次物镜（1‑14）和大视场CCD（1‑15）；所述一号反射镜（1‑2）的中心刻有“十”字线，该“十”字线区域可透射光；光源（1‑11）发出的光入射至分划板（1‑10），经分划板（1‑10）透射后入射至二号分光镜（1‑8），经所述二号分光镜（1‑8）反射至准直物镜（1‑7），经所述准直物镜（1‑7）透射后入射至二号反射镜（1‑6），经所述二号反射镜（1‑6）反射至一号反射镜（1‑2），经一号反射镜（1‑2）反射至待测目标（1），经待测目标（1）反射后形成反射光，所述反射光入射至一号反射镜（1‑2），经所述一号反射镜（1‑2）分为一号反射光和一号透射光，所述一号反射光入射至二号反射镜（1‑6），经所述二号反射镜（1‑6）反射至准直物镜（1‑7），经所述准直物镜（1‑7）透射至二号分光镜（1‑8），经所述二号分光镜（1‑8）分为二号反射光和二号透射光，所述二号反射光入射至分划板（1‑10）后出射；二号透射光入射至准直CCD（1‑9）的感光面；一号透射光入射至主物镜（1‑3），经所述主物镜（1‑3）透射后入射至一号分光镜（1‑4），经所述一号分光镜（1‑4）分为三号反射光和三号透射光，所述三号透射光入射至小视场CCD（1‑5）的感光面；三号反射光入射至一号次物镜（1‑12），经所述一号次物镜（1‑12）透射后入射至三号反射镜（1‑13），经所述三号反射镜（1‑13）反射后入射至二号次物镜（1‑14），经所述二号次物镜（1‑14）透射后入射至大视场CCD（1‑15）的感光面。