[发明专利]太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统及方法

摘要

种太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统以及太阳能电池的基板沉积薄膜的处理方法，其可包含有基板预洗单元、药液盖转移单元、供液单元、化学镀浴单元、药液排出单元及基板终洗单元，其中药液盖转移单元用以将药液盖转移至基板上以形成固定密合的具有局限空间的密封结构体，供液单元则用于注入适量药液以供随后的化学镀浴单元进行薄膜沉积制程，透过本发明的方法在薄膜完全形成前药液将恒局限于基板上，相较于现有技术本发明可大幅降低药液供给量，而薄膜仅会局限形成于基板的其中一面，薄膜沉积不仅更为均匀，也不需另外制程去除多余薄膜，且药液盖转移单元可循环转移药液盖以重复使用，更可提升整体的处理效率。

主权项

一种太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，用以处理一基板，该基板具有一无效区及一处理区，该无效区为该基板的周边无法受到沉积处理的区域，该处理区则为该基板未被该无效区所涵盖的区域，该基板于沉积处理时与一药液盖结合成具有一局限空间的一密封结构体，该局限空间于沉积处理时包含一药液以沉积一薄膜，该处理系统包含：一供液单元，其用于将该药液注入于所传送过来的该密封结构体之内，以使该基板的该处理区皆覆盖有该药液；一化学镀浴单元，设置于该供液单元之后，其用于接收并传送自该供液单元传送而来的该密封结构体，并于该基板的该处理区上藉由传送该密封结构体而沉积出该薄膜，当该薄膜形成后该化学镀浴单元再将该密封结构体传送出去；及一药液排出单元，设置于该化学镀浴单元之后，其用以接收由该化学镀浴单元传送过来的该密封结构体，并将该密封结构体之内的该药液排出。