[发明专利]立体螺旋电感及其形成方法无效
| 申请号： | 201210301587.0 | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102800647A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 刘玮荪 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/02;H01F17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种立体螺旋电感及其形成方法，所述立体螺旋电感包括：衬底，所述衬底包括第一表面和第二表面，贯穿所述衬底的若干互连通孔，位于所述衬底的第一表面的若干第一金属互连线，位于所述衬底的第二表面的第二金属互连线，所述第一金属互连线、第二金属互连线和互连通孔构成立体螺旋电感。本发明实施例的立体螺旋电感的中间面积大，且所述立体螺旋电感所占据衬底的面积仅为第一金属互连线、第二金属互连线占据的面积，而第一金属互连线之间的间距、第二金属互连线之间的间距可以很小，可以大幅降低电感所占据的衬底面积，且所述立体螺旋电感位于所述衬底内，并不妨碍在衬底表面形成其它器件，提高了空间利用率，且与现有工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 立体 螺旋 电感 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种立体螺旋电感，其特征在于，包括：衬底，所述衬底包括第一表面和第二表面，贯穿所述衬底的若干互连通孔，所述互连通孔的俯视图形呈两条平行线排列，位于所述衬底的第一表面的若干第一金属互连线，每一条第一金属互连线分别与位于两条平行线的两个相邻的互连通孔电学连接，位于所述衬底的第二表面的第二金属互连线，每一条第二金属互连线分别与位于两条平行线的两个相邻的互连通孔电学连接，且每一个互连通孔的顶部表面与一条第一金属互连线相连接，每一个互连通孔的底部表面与一条第二金属互连线相连接，所述第一金属互连线和第二金属互连线不平行，使得所述第一金属互连线、第二金属互连线和互连通孔构成立体螺旋电感。
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