[发明专利]一种多晶硅生产工艺

摘要

本发明提供了一种可简化工艺、降低能耗、节约成本的多晶硅的生产工艺。使用氯氢化技术，代替了传统生产系统中的合成工序和冷氢化工序。本发明中使用冷凝器和纯化器，代替了传统生产系统中的干法回收系统。通过氢气在氯氢化和还原两工序之间建立的大循环，可将还原产生的氢气作为氯氢化的补充气，因此使得运行成本得以下降。因为实现了氯氢化、还原氢气大循环，则仅需在冷凝器后配置一套氢气循环压缩机即可，既节省了能量，又因只有一级压缩一次性配置的压缩机及其备用机的数量大大减少，从而降低了一次性投资和运行成本10%以上。

主权项

一种多晶硅生产工艺，包括尾气回收、提纯、冷凝工艺，其特征在于，还包括如下步骤：工业硅粉与四氯化硅、氢气在氯氢化工序中的反应器发生反应，生成氢气和三氯氢硅、四氯化硅的混合氯硅烷，通过低温冷凝将三氯氢硅和四氯化硅冷凝，氢气送入纯化器，冷凝后的三氯氢硅、四氯化硅的混合氯硅烷送入初次精馏工序；来自氯氢化工序的三氯氢硅、四氯化硅混合氯硅烷在初次精馏工序分离，四氯化硅送入氯氢化工序循环使用，高纯三氯氢硅送入还原工序；来自氯氢化的氢气在纯化器中提纯成为高纯氢气后经过缓冲罐及减压阀来调节压力后送入还原工序；来自纯化器的高纯氢气与来自初次精馏工序的高纯三氯氢硅在还原工序发生反应生成多晶硅，还原工序产生的还原尾气送入冷凝器；来自还原工序的还原尾气在冷凝器中分离，再经过压缩机升压后，氢气和氯化氢作为不凝气体送入氯氢化工序中循环使用，三氯氢硅、四氯化硅的混和氯硅烷冷凝为液体送入再次精馏工序；来自冷凝器的三氯氢硅、四氯化硅的混合氯硅烷在再次精馏工序中分离，四氯化硅送入氯氢化工序循环使用，高纯三氯氢硅送入还原炉循环使用。