[发明专利]机械剥离的膜的固定曲率力加载方法有效
| 申请号： | 201210302611.2 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102956568A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | S.W.比德尔;K.E.福格尔;P.A.劳罗;刘小虎;D.K.萨达纳 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开提供一种剥离方法和一种转移材料层的方法。该剥离方法包括：在基底基板的表面上沉积应力施加层；使应力施加层与平坦转移表面接触。然后平坦转移表面沿一平面横移，该平面平行于基底基板的上表面并具有离开基底基板的上表面的垂直偏移。在从基底基板的第一边缘到基底基板的相对的第二边缘的方向上横移平坦转移表面，以使基底基板分裂并将基底基板的被剥离部分转移到平坦转移表面。平坦转移表面沿其横移的所述平面与基底基板的上表面之间的垂直偏移是固定距离。垂直偏移的固定距离提供均匀的剥离力。本公开还提供一种包括转移辊的剥离方法。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 剥离 固定 曲率 加载 方法 | ||
【主权项】：
一种剥离方法，包括：在基底基板的上表面上沉积应力施加层；使所述应力施加层与平坦转移表面在所述基底基板的第一边缘处接触；以及在从所述基底基板的所述第一边缘到所述基底基板的相对的第二边缘的方向上，沿一平面横移所述平坦转移表面，所述平面平行于所述基底基板的所述上表面并具有离开所述基底基板的所述上表面的垂直偏移，以使所述基底基板裂开并将所述基底基板的被剥离部分转移到所述平坦转移表面，所述平坦转移表面沿其横移的所述平面与所述基底基板的所述上表面之间的所述垂直偏移从所述基底基板的第一边缘到所述基底基板的所述第二边缘为固定距离，其中所述垂直偏移的所述固定距离提供均匀的剥离力。
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