[发明专利]用于太阳能电池的硒化方法及其硒化装置

摘要

种用于太阳能电池的硒化方法及其硒化装置，该硒化装置包含一个加热腔体、安装于该加热腔体上的一个真空机构与一个加压机构，以及一个气流循环机构。该加热腔体包括一个供所述太阳能电池的半成品放置的反应空间，以及一个对该反应空间加热的加热部。该加压机构将硒化反应气体送入该反应空间。该气流循环机构安装在该反应空间内，并使该反应空间内的硒化反应气体循环流动。从而使硒化反应气体能均匀分布，而与所述半成品均匀地发生硒化反应，同时还可缩短升降温时间及硒化反应时间，并提升生产速度及生产效率。

主权项

一种用于太阳能电池的硒化方法，包含：步骤A：将一个表面形成有一个前驱物层的基板单元放入一个加热腔体内；步骤B：将该加热腔体抽真空；其特征在于，该硒化方法还包含：步骤C：提升该加热腔体内的气流循环性，并将硒化反应气体通入该加热腔体内以增加该加热腔体内的气压值，同时增加该加热腔体内的温度；步骤D：持续将硒化反应气体通入该加热腔体内，使该加热腔体内的气压值增加至2~6atm之后进行退火，使硒化反应气体与该前驱物层反应形成一个光吸收层。