[发明专利]太阳能电池正面电极的制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳能电池正面电极的制备方法。该制备方法包括制绒、扩散、刻蚀、沉积氮化硅膜、印刷银浆以及烧结步骤，其中，在硅片上沉积氮化硅膜后，进一步包括去除预形成正面栅线位置上的氮化硅膜的步骤。本发明的制备方法由于在印刷银浆之前去除了预形成正面栅线位置上的氮化硅膜，因而银浆中不需要掺入含铅的硼酸玻璃粉来腐蚀氮化硅膜，后续也不需要采用高温烧结工艺。由于银浆中不包含玻璃粉，可以提高银浆中的银含量，进而提高银浆的导电性能；同时银浆中不含铅，有利于环境的保护；后续采用低温烧结工艺，可以有效地节约设备消耗的电能。

主权项

一种太阳能电池正面电极的制备方法，包括制绒、扩散、刻蚀、沉积氮化硅膜、印刷银浆以及烧结步骤，其特征在于，在硅片上沉积氮化硅膜后，进一步包括去除预形成正面栅线的位置上的氮化硅膜的步骤。