[发明专利]采用液晶光阀整形的激光直写加工系统

摘要

本发明涉及一种激光直写加工的方法及装置，属于激光加工技术领域。该装置是由激光光源、反射镜组、前整形透镜组、液晶光阀、后整形透镜组、聚焦透镜、被加工材料、反射镜或者多面旋转反射镜构成的一个激光加工装置。所述的激光光源用来产生加工用的激光，加工用激光经过前透镜组扩束后，再经过液晶光阀整形，最后经过后透镜组扩束并汇聚到加工材料上，实现激光直写加工。本发明的加工装置可以在高速直写加工的同时满足特殊加工形状的需求，并能够实现宽范围的激光直写加工，具有很好的实际意义。

主权项

一种采用液晶光阀整形的激光直写系统，包括：激光光源；反射镜组；前整形透镜组；液晶光阀；后整形透镜组；聚焦透镜；被加工材料；反射镜或者多面旋转反射镜；在所述的技术方案中，所述的激光光源用来产生加工用的激光；在所述的技术方案中，所述的反射镜组可以添加在激光直写装置的各个所需的位置，用来将所述的激光光源发出的光进行折转；在所述的技术方案中，所述的前整形透镜组用来对所述的激光光源发出的光进行初步整形，使所述的激光光源变成适当直径的平行光束；在所述的技术方案中，所述的液晶光阀置于所述的整形透镜组之后，用来对加工激光束进行实时的调制，满足加工需求；在所述的技术方案中，所述的后整形透镜组置于所述的液晶光阀之后，用来调整加工激光束的光学参数，满足加工需求；在所述的技术方案中，所述的反射镜或者多面旋转反射镜置于所述的后整形透镜组之后，用来控制加工激光的汇聚位置；在所述的技术方案中，所述的聚焦透镜置于所述的反射镜或者多面旋转反射镜之后，反射泵浦光和受激辐射产生的信号光，汇聚加工激光。