[发明专利]射频电源闭环控制电路有效
| 申请号： | 201210309301.3 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102830745A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 丁义国;丁元凯 | 申请（专利权）人： | 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05F1/66 | 分类号： | G05F1/66 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频电源闭环控制电路，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以及输出功率控制电路，该输出功率控制电路的输入端分别连接入射电压处理电路和反射电压处理电路，输出功率控制电路根据获取的入射功率信号和反射功率信号以及功率设定值，动态调整输出控制射频电源的功率控制信号。本发明使射频入射输出功率始终与功率设定值保持一致，使输出功率达到±0.5%的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 闭环 控制电路 | ||
【主权项】：
射频电源闭环控制电路，其特征在于，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以及输出功率控制电路，该输出功率控制电路的输入端分别连接入射电压处理电路和反射电压处理电路，输出功率控制电路根据获取的入射功率信号和反射功率信号以及功率设定值，动态调整输出控制射频电源的功率控制信号。
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