[发明专利]一种钆钡铜氧致密膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种钆钡铜氧致密膜的制备方法，包括以下步骤：将三氟乙酸钆、三氟乙酸钡和三氟乙酸铜溶解于甲醇中，得到三氟乙酸盐前驱液一；将螯合剂与三氟乙酸盐前驱液一加入搅拌器中，搅拌反应后形成络合物，将络合物在甲醇和丙酸混合溶液中定容得三氟乙酸盐前驱液二；采用旋涂法将三氟乙酸盐前驱液二均匀涂覆在铝酸镧单晶基片上，后将涂覆有涂层的铝酸镧单晶基片置于热解炉中进行热解，得到表面光滑的前驱膜；将前驱膜置于管式炉中进行晶化处理，晶化处理后将管式炉中的温度降到渗氧处理的温度进行渗氧处理，随炉冷却得钆钡铜氧致密膜。本发明工艺简单、设计合理且易于操作，采用本制备方法制备的钆钡铜氧致密膜表面光滑、平整致密、性能优异。

主权项

一种钆钡铜氧致密膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将三氟乙酸钆、三氟乙酸钡和三氟乙酸铜溶解于甲醇中，得到三氟乙酸盐前驱液一；所述三氟乙酸盐前驱液一中钆、钡、铜三中金属离子的摩尔比为：Gd3+：Ba2+：Cu2+=1：2：3，所述三氟乙酸盐前驱液一中钆、钡和铜三种金属离子的总摩尔浓度为1.5mol/L～2.5mol/L；步骤二、将螯合剂与步骤一中所述三氟乙酸盐前驱液一加入搅拌器中，以400r/min～600r/min的转速在60℃～80℃的温度下搅拌1h～3h后形成络合物，然后将所述络合物在甲醇和丙酸混合溶液中定容得到三氟乙酸盐前驱液二；所述螯合剂为苯甲酸，所述螯合剂的加入量为铜离子物质的量的1～3倍；所述甲醇和丙酸混合溶液中甲醇和丙酸的体积比为4～9：1；所述三氟乙酸盐前驱液二中钆、钡、铜三种金属离子的摩尔比为：Gd3+：Ba2+：Cu2+=1：2：3，所述三氟乙酸盐前驱液二中钆、钡和铜三种金属离子的总摩尔浓度为1mol/L～2mol/L；步骤三、采用旋涂法将步骤二中所述三氟乙酸盐前驱液二均匀涂覆在铝酸镧单晶基片上，然后将涂覆有涂层的铝酸镧单晶基片置于热解炉中进行热解，得到表面光滑的前驱膜；步骤四、将步骤三中所述前驱膜置于管式炉中进行晶化处理，晶化处理后将管式炉中的温度降到渗氧处理的温度进行渗氧处理，随炉冷却，得到钆钡铜氧致密膜。