[发明专利]一种预热装置及装置平移系统有效
| 申请号： | 201210311283.2 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102864491A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 冷先锋;阮光玉;王楠 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种预热装置及装置平移系统，用于区域熔化多晶硅棒时，预热多晶硅棒，以解决现有技术中区域熔化大直径多晶硅棒预热时间长的问题。本发明提供的预热装置具有能在电流磁场作用下产生感应电流并发热的壳体，壳体内部具有能将多晶硅棒预热部分不接触环绕，且与所述多晶硅棒预热部分形状相似的通孔。通过本发明能够将多晶硅棒预热部分环绕加热，增加多晶硅棒的受热面积，节省了预热时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 预热 装置 平移 系统 | ||
【主权项】：
一种预热装置，用于区域熔化多晶硅棒时，预热多晶硅棒，其特征在于，该预热装置具有能在电流磁场作用下产生感应电流并发热的壳体，壳体内部具有能将多晶硅棒预热部分不接触环绕，且与所述多晶硅棒预热部分形状相似的通孔。
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