[发明专利]一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构无效
| 申请号： | 201210311332.2 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103628035A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 凌复华;王丽丹;吴凤丽 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L21/673 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 发明涉及半导体薄膜沉积设备，具体地说是一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，包括上下设置的金属圆盘和陶瓷圆盘，金属圆盘上表面有若干圆柱凸台，圆柱凸台的直径略小于或等于晶圆直径，相邻凸台的距离大于晶圆直径，金属圆盘的下表面一般为平面，也可以有其他特征。陶瓷圆盘上有若干通孔，通孔位置与金属圆盘上的圆柱凸台位置相吻合，通孔直径略大于圆柱凸台直径。若通孔直径略小于或等于晶圆直径，通孔上端面需要有直径略大于晶圆的晶圆沟槽；若通孔直径略大于晶圆直径，则不需要晶圆沟槽。本发明可以将等离子体的密度集中到反应区域，提供沉积速率，同时杜绝边缘放电现象发生，改善等离子体分布，降低边缘效应，改善成膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 生产 尺寸 晶圆载台 结构 | ||
【主权项】：
一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，其特征在于：包括上下设置的两个圆盘，其中位于下方的圆盘表面均布有多个凸台，位于上方的圆盘开有与所述凸台相对应的通孔，凸台插入通孔中；每个凸台上均放置有晶圆。
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