[发明专利]光学透镜高精度支撑结构无效
| 申请号： | 201210312857.8 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102854596A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光学透镜高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学透镜高精度支撑问题，光学透镜高精度支撑结构，包括镜框和三个调整顶丝，所述镜框内环上具有若干弹片，且镜框和若干弹片为整体式结构；所述三个调整顶丝在镜框内环上周向均匀设置；所述弹片与光学透镜接触部位的形状与光学透镜下表面接触部位的形状相适应，两者之间为面接触；透镜装调时，首先将透镜放置在若干弹片上，通过周向均匀分布的三个调整顶丝对透镜进行调心，然后通过胶粘将透镜和镜框固定，最后再将三个调整顶丝拧出；从而实现光学透镜高精度支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 透镜 高精度 支撑 结构 | ||
【主权项】：
光学透镜高精度支撑结构，包括镜框（2）和三个调整顶丝（3），其特征在于，所述镜框（2）内环上具有若干弹片（2‑1），且镜框（2）和若干弹片（2‑1）为整体式结构；所述三个调整顶丝（3）在镜框（2）内环上周向均匀设置。
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