[发明专利]一种无污染可视气溶胶发生器

摘要

本发明公开了一种无污染可视气溶胶发生器，其中通过设置雾化发生器将纯水进行雾化形成气溶胶，并设置洁净气流处理装置将通入装置中的气流进行净化，净化后得到的洁净气流将产生的气溶胶顺着气流的流向输送至洁净设备的被测空间，这样便在被测空间中形成雾状的可视洁净气流。该可视气溶胶发生器结构简单，使用方便，能够很好地对洁净设备的气流流向、流形进行可视化验证，由于气溶胶由纯水雾化形成，同时送出气溶胶的气流经过净化，因而通过该气溶胶发生器产生的可视气溶胶无污染和杂质，具有良好的洁净性能，对洁净设备和洁净室均不会造成污染。

主权项

一种无污染可视气溶胶发生器，其特征在于：所述气溶胶发生器包括雾状气溶胶发生装置，所述雾状气溶胶发生装置包括用于盛放待雾化液体的水槽、能够将所述待雾化液体转变为雾状的雾化发生器，所述雾化发生器设置在所述水槽中，所述待雾化液体为纯水，所述气溶胶发生器还包括能够将通入的气体洁净化的洁净气流处理装置、控制所述雾状气溶胶发生装置和所述洁净气流处理装置工作状态的电气控制系统，所述洁净气流处理装置的出风口与所述水槽相气流连通。