[发明专利]一种提高大功率微波输能窗用陶瓷绝缘性能的方法

摘要

本发明公开了一种提高大功率微波输能窗用陶瓷绝缘性能的方法，包括以下步骤；（1）陶瓷钎焊前净化处理；（2）钎焊工装净化退火处理；（3）陶瓷钎焊后洁净处理；所述提高大功率微波输能窗用陶瓷绝缘性能的方法，通过在大功率微波输能窗用陶瓷在钎焊前的洁净处理，减少陶瓷在钎焊前的有机物的污染，严格控制陶瓷表面的洁净度；通过对钎焊工装进行净化退火处理，在钎焊过程中减小钎焊工装的金属蒸气的挥发；通过在钎焊结束后对陶瓷表面的吸附物进行处理，提高陶瓷表面的洁净度；有效解决了陶瓷绝缘性能下降的问题，提高了陶瓷的绝缘性能，进而提高了电子真空器件的整体性能。

主权项

一种提高大功率微波输能窗用陶瓷绝缘性能的方法，其特征在于：包括以下步骤；（1）陶瓷钎焊前净化处理；首先将陶瓷在超声波中去油10~15分钟，重复去油3次；其次，取出陶瓷放入去离子水中超声波清洗10~15分钟，重复清洗3次；然后将陶瓷放入氢炉中，在露点为20±5℃的湿氢中，在950±20℃下保温20±5分钟后，将陶瓷放在干氢中冷却；（2）钎焊工装净化退火处理；将用于陶瓷钎焊的焊接工装清洗干净后，放在高于陶瓷钎焊温度50℃以上的干氢中净化退火10~15分钟；（3）陶瓷钎焊后洁净处理；首先对钎焊后陶瓷表面用120目的石英砂在气压为0.4~0.6MPa时进行喷砂处理1~10秒钟；然后用0.2~0.4MPa的压缩空气喷吹喷砂处理的陶瓷表面，时间不少于1分钟；再用脱脂棉沾酒精对陶瓷表面进行擦拭不少于3遍后，用压缩空气将陶瓷表面吹干。