[发明专利]LED的基板重制方法无效
| 申请号： | 201210314108.9 | 申请日： | 2012-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102969409A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 施佳贤;詹博筌 | 申请（专利权）人： | 荣易化学有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龙潭乡*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种LED的基板重制方法，其利用电浆蚀刻技术去除成长在基板上的不良磊晶层，基板包含素基板及已奈米图案化的基板，电浆蚀刻技术可透过电浆蚀刻设备实现，其中电浆蚀刻设备使用有适当的气体，以及将反应温度及功率控制于特定范围内，接着再透过清洗处理，即可将成长不良的磊晶层完全去除，不良的磊晶层完全去除后，基板则可回复原状，因此可在基板上再次成长磊晶层，藉以有效提升蓝宝石基板的利用率，节省原料成本并可提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | led 基板重制 方法 | ||
【主权项】：
一种LED的基板重制方法，其特征在于，包含：提供一基板，该基板上已成长有一磊晶层；利用一电浆蚀刻技术去除形成于该基板上的该磊晶层；以及对已去除磊晶层的基板表面进行一清洗处理。
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