[发明专利]铪铟锌氧化物靶材的制作方法

摘要

本发明公开了一种铪铟锌氧化物靶材的制作方法，包括氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物纳米粉体的制备步骤、氧化铟粉末制作步骤、烧结步骤以及整型步骤，将氧化铪、氧化铟、氧化锌的纳米粉末均匀混合，压制成坯，再以高温烧结合成为铪铟锌氧化物，经机械加工、打磨形成铪铟锌氧化物靶材。本发明提供的靶材溅射的薄膜均一性好，原子比例精确可控，而且制造工艺简单，显示出了巨大的应用前景。以本发明方法制备的氧化物溅射靶材制作的薄膜晶体管具有电子迁移率高，器件性能优越，制造工艺简单，稳定性好等优点，也为新型薄膜晶体管的发展带来了契机。

主权项

一种铪铟锌氧化物靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1）氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物纳米粉体的制备：将金属铪、铟和锌三种金属分别加热熔化形成不同的金属熔体，然后将各金属熔体分别在氧化反应气氛下进行氧化，再经冷却处理后分别形成氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物颗粒，然后分别通过提纯获得纯净的氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物粉末，再对各金属氧化物粉末分别进行研磨，得到粒度均匀的氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物的纳米粉体，各金属氧化物纳米粉体的颗粒粒径均达到0.1 um；2）靶材初坯制备：将氧化铪、氧化铟和氧化锌三种金属氧化物纳米粉体按照重量百分比为（3±10%）：（2±10%）：（1.2±10%）的比例均匀混合后，放入模具中，对模具中的坯体进行压制成型，形成靶材初坯，待烧结备用；3）烧结：去除模具后，将靶材初坯放入烧结装置中进行烧结，在1300℃～1500℃下，采用真空或惰性气体环境烧结5～10小时，形成靶材毛坯；4）整型：将烧结后的靶材毛坯进行机械加工、打磨、表面平整化处理，然后在靶材毛坯的表面粘贴铜背板，最后形成铪铟锌氧化物靶材。