[发明专利]多晶硅生产过程中热量利用的装置及方法无效
申请号: | 201210320578.6 | 申请日: | 2012-09-03 |
公开(公告)号: | CN102786055A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 齐林喜;赵亮 | 申请(专利权)人: | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人: | 张群峰;范晓斌 |
地址: | 015543 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 多晶硅生产过程中热量利用的装置及方法。多晶硅生产过程中热量利用的方法包括:合成步骤:将氢气以及在多晶硅生产过程中产生的四氯化硅加热后引入到载有硅粉的氢化反应器中发生氢化反应,得到包含反应生成的三氯氢硅的混合气体;净化步骤:用氯硅烷去除混合气体中的硅粉从而得到包含氯硅烷的净化气体;冷凝步骤:将净化气体引入精馏塔塔底再沸器中换热降温,降温后的净化气体引入冷凝器进行冷凝,得到冷凝液体和不凝气体;将不凝气体返回氢化反应器,将冷凝液体送入精馏塔;精馏步骤:将在精馏塔塔顶分离出的气体作为多晶硅还原炉的原料;将在精馏塔塔釜分离出的液体返回氢化反应器。本发明能够减少在多晶硅生产中的能耗,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 多晶 生产过程 热量 利用 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅生产过程中热量利用的方法,包括:合成步骤:将氢气以及在多晶硅生产过程中产生的四氯化硅加热后引入到载有硅粉的氢化反应器中发生氢化反应,得到包含反应生成的三氯氢硅、二氯二氢硅、氯化氢以及未反应的四氯化硅、氢气、硅粉的混合气体;净化步骤:用氯硅烷去除混合气体中的硅粉从而得到包含氯硅烷的净化气体;冷凝步骤:将净化气体引入精馏塔塔底再沸器中换热降温,降温后的净化气体引入冷凝器进行冷凝,得到冷凝液体和不凝气体;将不凝气体返回氢化反应器,将冷凝液体送入精馏塔;精馏步骤:将在精馏塔塔顶分离出的气体作为多晶硅还原炉的原料;将在精馏塔塔釜分离出的液体返回氢化反应器。
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