[发明专利]用于测试电子基底上的沉淀物的拉伸测试装置和方法

摘要

本发明涉及用于测试电子基底上的沉淀物的拉伸测试装置和方法。拉伸测试机器具有夹爪，该夹爪包括具有横向件（25）和两个立柱（26）的单一的“H”形截面的构件。该横向件被安装到支持在该测试机器上并具有力的测量元件的悬臂梁。气动启动器（20）通过绞线（22）将拉伸力应用到该夹爪（23）的第一端，以便促使它们分开。当该立柱的第一端被促使分开时，它们相对地布置的第二端一起被促使以抓紧在拉伸测试内将被从基底上牵拉下的样品沉淀物（29）。在使用中，该夹爪可以500毫米/秒级别的速度按顺序被移动，以便将沉淀物从基底牵拉下。在该拉伸测试中将沉淀物牵拉离开基底所需的力由梁（35）上的力测量元件测量。

主权项

一种拉伸测试装置的夹爪，所述夹爪包括单一的基本“H”形的构件，该单一的基本“H”形的构件具有：适合于安装到应变测量悬臂梁的横向件；以及两个立柱，所述立柱的端部适合于被弹性地推动分开，以便使所述立柱的下端朝向彼此以在使用中抓紧测试样品。