[发明专利]太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法有效
申请号: | 201210322917.4 | 申请日: | 2012-09-04 |
公开(公告)号: | CN102810603A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 李化阳;刘振华;李良;张良 | 申请(专利权)人: | 镇江大全太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/66 |
代理公司: | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人: | 夏哲华 |
地址: | 212211 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法。该方法包括以下步骤:a.电池片的制造,在硅片衬底上形成方块电阻阻值较低的前层图案,在前层图案轮廓范围外形成至少一个方块电阻阻值较低的检测图案,然后通过丝网印刷方法在前层图案轮廓范围内套印正面电极;b.丝网印刷套印对准检测,在正面电极与硅片衬底之间施加一电压,在红外照片上观察检测图案的亮度,判断正面电极印刷是否发生偏移。本发明能够对套印的正面电极位置偏移进行监测,并且检测效率高、检测成本低。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 电极 丝网 印刷 套印 对准 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法,其特征是:包括以下步骤a.电池片的制造,在硅片衬底1上形成方块电阻阻值较低的前层图案2,在前层图案轮廓范围外形成至少一个方块电阻阻值较低的检测图案4,然后通过丝网印刷方法在前层图案2轮廓范围内套印正面电极3;b.丝网印刷套印对准检测,在正面电极3与硅片衬底1之间施加一电压,在红外照片上观察检测图案4的亮度,判断正面电极印刷是否发生偏移;如果检测图案4的亮度比前层图案2以外的其他区域高,则判断电极印刷发生了偏移;如果检测图案4的亮度与前层图案2以外的其他区域相比没有明显差别,则判断电极印刷未偏移。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的