[发明专利]太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法有效

专利信息
申请号: 201210322917.4 申请日: 2012-09-04
公开(公告)号: CN102810603A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 李化阳;刘振华;李良;张良 申请(专利权)人: 镇江大全太阳能有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/66
代理公司: 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 代理人: 夏哲华
地址: 212211 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法。该方法包括以下步骤:a.电池片的制造,在硅片衬底上形成方块电阻阻值较低的前层图案,在前层图案轮廓范围外形成至少一个方块电阻阻值较低的检测图案,然后通过丝网印刷方法在前层图案轮廓范围内套印正面电极;b.丝网印刷套印对准检测,在正面电极与硅片衬底之间施加一电压,在红外照片上观察检测图案的亮度,判断正面电极印刷是否发生偏移。本发明能够对套印的正面电极位置偏移进行监测,并且检测效率高、检测成本低。
搜索关键词: 太阳能电池 电极 丝网 印刷 套印 对准 检测 方法
【主权项】:
一种太阳能电池片电极的丝网印刷套印对准检测方法,其特征是:包括以下步骤a.电池片的制造,在硅片衬底1上形成方块电阻阻值较低的前层图案2,在前层图案轮廓范围外形成至少一个方块电阻阻值较低的检测图案4,然后通过丝网印刷方法在前层图案2轮廓范围内套印正面电极3;b.丝网印刷套印对准检测,在正面电极3与硅片衬底1之间施加一电压,在红外照片上观察检测图案4的亮度,判断正面电极印刷是否发生偏移;如果检测图案4的亮度比前层图案2以外的其他区域高,则判断电极印刷发生了偏移;如果检测图案4的亮度与前层图案2以外的其他区域相比没有明显差别,则判断电极印刷未偏移。
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