[发明专利]灰色调掩模的检查装置及制造方法、图案转印方法

摘要

在本发明的灰色调掩模的检查方法中，经由照明光学系统(2)向灰色调掩模(3)照射从光源(1)发出的规定波长的光束，经由物镜系统(4)，由摄像部件(5)摄像经过灰色调掩模(3)的光束，求出摄像图像数据，根据该摄像图像数据，取得灰色调掩模的包含半透光部的区域的透过光强度分布数据。

主权项

一种灰色调掩模的检查方法，所述灰色调掩模用于显示装置的制造，且该灰色调掩模在透明基板上形成包含遮光部、透光部和透过曝光光的一部分的半透光部的图案，通过基于曝光装置的包含i线、h线、g线的混合曝光光，将所述图案转印到被转印体上，从而在所述被转印体上的与所述半透光部对应的部分形成膜厚比对应于所述遮光部的部分薄的抗蚀剂图案，所述灰色调掩模的检查方法的特征在于，包括：经由照明光学系统向所述灰色调掩模照射从光源发出的规定波长的光束，经由物镜系统，由摄像部件对透过了该灰色调掩模的光束进行摄像，从而求出摄像图像数据的步骤；和根据所述摄像图像数据，获取所述灰色调掩模的包含半透光部和遮光部的区域的透过光的强度分布数据，并根据获取到的强度分布数据，求出通过所述混合曝光光在所述被转印体上形成的所述抗蚀剂图案的膜厚的步骤。