[发明专利]一种高真空系统密封装置无效
| 申请号： | 201210323935.4 | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102829196A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 范多旺;牛晓山;牛进虎;杨书本;范多进;令晓明 | 申请（专利权）人： | 常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K31/12;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高真空系统密封装置，其特征在于，包括：真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵，所述的冷凝罩中装有低温盘管；所述的高真空翻板阀包括：驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板，所述的驱动气缸由自动控制动作，驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成，通导能力达到90%以上，生产效率高，也可根据生产及设备的本身需要，可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外，阀板会自行关闭，将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离，起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响，且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种高真空系统密封装置，其特征在于,包括:真空室体（1）、高真空翻板阀（2）、低温盘管（3）、冷凝罩（4）和扩散泵（5），所述的冷凝罩（4）中装有低温盘管（3）；所述的高真空翻板阀（2）包括：驱动气缸（2‑1）、气缸转臂（2‑2）、阀板固定臂（2‑3）、阀板调整机构（2‑4）、阀板调平轴（2‑5）、阀板（2‑6），所述的驱动气缸（2‑1）由自动控制动作，驱动气缸（2‑1）驱动气缸转臂（2‑2）和阀板固定臂（2‑3）动作。
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