[发明专利]金属和石墨模具以及制造坩埚的方法有效
申请号: | 201210323953.2 | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN102898004B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | K·克莫奇;L·E·巴尔;C·哈格斯特伦 | 申请(专利权)人: | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司;信越石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 代易宁 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于制造熔融石英坩埚的模具,包括具有内孔的圆柱形罐。石墨内衬容纳于该孔内,并具有适合形成坩埚的下表面的上表面,该罐的内孔形成坩埚的侧壁。当模具旋转时,石英颗粒沉积在该模具中。在熔融过程中,形成在内衬之上的罐中和内衬中的孔抽吸空气通过石英。 | ||
搜索关键词: | 金属 石墨 模具 以及 制造 坩埚 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造具有圆柱形侧壁的熔融石英坩埚的模具,包括:具有内孔的金属圆柱形罐,所述内孔被构造并布置成形成圆柱形的侧壁,其中金属圆柱形罐用于形成坩埚的圆柱形上壁;容纳在所述罐内的石墨内衬,所述石墨内衬具有适合形成所述坩埚下部的上表面;形成在所述石墨内衬的下端和所述罐的底部之间的室;形成在所述罐的周边周围并与所述室连通的第一多个孔;形成在所述罐的周边周围并与所述罐的石墨内衬上方的内部连通的第二多个孔;形成在所述上表面和所述室之间的石墨内衬中的多个孔;将至少一些第一孔中的每一个与第二孔连接的导管,由此提供所述室和罐的石墨内衬上方的内部之间的连通;和形成在所述内衬和所述罐之间的围绕所述石墨内衬和所述罐的周边的密封。
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