[发明专利]一种可提高TFT背板良率的布线结构

摘要

本发明公开了一种可提高TFT背板良率的布线结构，包括主氧化线、电源线、连接金属、行扫描线、电源线与行扫描线刻断图形、电源线接触刻蚀孔。本发明将TFT背板驱动阵列的主氧化线设计成网格状结构，电源线和行扫描线在阵列外围连接在一起，且连接至主氧化线，待阳极氧化处理后，利用刻蚀方法，将电源线、行扫描线以及主氧化线分割开，实现各自的功能。通过这种布线设计，可以大大提高TFT背板栅极金属阳极氧化效率和均匀性。待阳极氧化形成栅极绝缘层薄膜后，通过接触孔，金属Ⅱ与金属Ⅰ相互搭接，进而形成网格状的电源线结构；通过这种布线设计，可以减小背板像素阵列电源线断线造成的显示屏线缺陷，从而提高TFT背板的良率。

主权项

一种可提高TFT背板良率的布线结构，包括主氧化线、电源线、连接金属、行扫描线、电源线与行扫描线刻断图形、电源线接触刻蚀孔图形，其特征在于：电源线和行扫描线由栅极金属层以及栅极绝缘层组成；所述的栅极金属层为Al或Al合金单层薄膜结构，或者是以Al或Al合金薄膜作为上层金属，其它金属作为下层金属所组成的多层薄膜结构；所述的栅极绝缘层由阳极氧化法形成。