[发明专利]检测激光损伤的装置和方法

摘要

一种检测激光损伤的装置和方法，该装置包括白光光源、成像透镜、大面阵CCD、图像采集卡及计算机，本发明可对匀速运动光学元件的激光损伤进行检测，具有在线、直观、实时、高效、自动、可靠的特点。

主权项

一种检测激光损伤的装置，其特征在于包括白光光源（102）、成像透镜（104）、大面阵CCD（105）、图像采集卡（106）及计算机（107），上述元部件的位置关系如下：待测光学元件（103）置于匀速运动的工作台上，所述白光光源（102）从待测光学元件（103）后表面垂直照亮待测光学元件（103）的激光测试区，脉冲激光（101）在所述的待测光学元件（103）前方辐照所述的待测光学元件（103）的激光测试区，在所述的待测光学元件（103）前方依次设置所述的成像透镜（104）和大面阵CCD（105），所述的待测光学元件（103）的激光测试区经所述的成像透镜（104）成像在所述的大面阵CCD（105）的探测面上，所述的大面阵CCD（105）的输出端通过信号线经图像采集卡（106）接所述的计算机（107）的输入端。