[发明专利]基板供给装置有效
| 申请号： | 201210327831.0 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102992642A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 西尾勤;魏志丹;横山雅树 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板供给装置（1），能在短时间内更换基板，其包括：多个臂部（4），这些臂部（4）设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台（6），这些小平台（6）分别被支承成与臂部（4）之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台（7），该主平台（7）利用臂部（4）的旋转及升降来载置小平台（6），且包括在游隙的范围内对小平台（6）进行定位并保持的平台保持机构（9、10）。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种基板供给装置，其特征在于，包括：多个臂部，这些臂部设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台，这些小平台分别被支承成与所述臂部之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台，该主平台利用所述臂部的旋转及升降来载置所述小平台，且包括在所述游隙的范围内对所述小平台进行定位并保持的平台保持机构。
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