[发明专利]一种六氟乙烷的纯化方法有效
| 申请号： | 201210328491.3 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN103664501A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 马建修;杜汉盛;陈艳珊;石平湘 | 申请（专利权）人： | 佛山市华特气体有限公司;广东华南特种气体研究所有限公司 |
| 主分类号： | C07C19/08 | 分类号： | C07C19/08;C07C17/38 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 528241 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六氟乙烷的纯化方法，将六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa条件进行精馏；将经过精馏的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃温度条件下进行低温吸附；将经过低温吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的压力条件下进行加压吸附，获得六氟乙烷产品；所述六氟乙烷产品的CO2体积浓度≤0.5ppm，H2O体积浓度≤1ppm。采用本发明，解决了六氟乙烷中CO2和H2O脱除深度不够和引入无水HCl造成安全隐患的问题，降低能耗，增强吸附剂的吸附效果，使六氟乙烷产品达到纯度在99.9995%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乙烷 纯化 方法 | ||
【主权项】：
一种六氟乙烷的纯化方法，其特征在于，包括：将六氟乙烷原料在‑70℃~‑35℃，0.1~1MPa条件进行精馏；将经过精馏的所述六氟乙烷原料在‑100℃~‑70℃的温度条件下进行低温吸附；将经过低温吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的压力条件下进行加压吸附，获得六氟乙烷产品。
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