[发明专利]一种纳米半导体器件生物加工方法无效
| 申请号： | 201210328496.6 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102815668A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 邹强;秦月辰;刘文涛;朱哲;傅星;马建国;薛涛;王慧;帕提曼·托乎提 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种纳米半导体器件生物加工方法，包括：（1）制作生物蛋白质溶液，并将其置于特定温度环境下；（2）将纳米半导体器件置于此生物蛋白质溶液里，在不同的静置时间段取出，利用拉曼光谱进行分析，将分析结果中的包括生物蛋白质溶液的种类及其浓度、元器件种类和静置时间在内的几个因素整理成参考数据库；（3）将在各种不同条件下加工后的纳米半导体器件和原始器件的某些物理性能进行比对，并增容数据库；（4）在设计具有某种特性指标的纳米半导体器件时，参考数据库，选取符合特征指标的加工条件，实现纳米半导体器件生物加工。本发明能够以以相对温和的手段即可实现纳米半导体器件的精密加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 半导体器件 生物 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米半导体器件生物加工方法，包括下列步骤：（1）制作生物蛋白质溶液，并将其置于特定温度环境下；（2）将纳米半导体器件置于此生物蛋白质溶液里，在不同的静置时间段取出，利用拉曼光谱进行分析，将分析结果中的包括生物蛋白质溶液的种类及其浓度、元器件种类和静置时间在内的几个因素整理成参考数据库；（3）将在各种不同条件下加工后的纳米半导体器件和原始器件的某些物理性能进行比对，并增容数据库；（4）在设计具有某种特性指标的纳米半导体器件时，参考数据库，选取符合特征指标的加工条件，实现纳米半导体器件生物加工。
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