[发明专利]Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台有效
| 申请号： | 201210331240.0 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN102881337A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 翟嘉;谭大川;吴永前;张灿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉、三柔性铰链圆形片工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，同时可承载一定弯矩、扭矩载荷；并可通过定心修切加工工艺，提高工作台上承载物与工作台外圆或内孔的同轴度。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 同轴 度抗弯 扭矩 纳米 精度 工作台 | ||
【主权项】：
Z‑θx‑θy三自由度高同轴度抗弯扭矩纳米级精度工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器螺钉（1）、压电陶瓷驱动器端盖（2）、压电陶瓷驱动器端盖螺钉（3）、压电陶瓷驱动器（4）、外筒（5）、三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉（6）和具有三个柔性铰链的三柔性铰链圆形片工作台（7）；其中，三柔性铰链圆形片工作台（7）通过三柔性铰链圆形片工作台连接螺钉（6）与外筒（5）连接；在三柔性铰链圆形片工作台（7）的一侧设有三支压电陶瓷驱动器（4）；压电陶瓷驱动器（4）为圆周均布，压电陶瓷驱动器（4）的工作端与三柔性铰链圆形片工作台（7）紧密接触；压电陶瓷驱动器（4）的固定端通过压电陶瓷驱动器螺钉（1）与压电陶瓷驱动器端盖（2）连接。
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