[发明专利]一种用于行波管的金刚石-金属复合式夹持杆及其制造方法无效
| 申请号： | 201210332591.3 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN102867716A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 丁明清;陈波;冯进军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J23/12 | 分类号： | H01J23/12;H01J9/24 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 李勤媛 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于行波管的金刚石-金属复合式夹持杆及其制造方法，属于真空电子技术领域，作为行波管高频结构中的一个部件，金刚石-金属复合式夹持杆由人工合成的金刚石和金属基底构成，该部件制造的方法是：首先在金属基片表面形成金刚石晶核，接着使用化学气相沉积方法人工合成一层金刚石，然后研磨和抛光金刚石表面，最后用激光切割加工成金刚石-金属复合式夹持杆。生长金刚石的时间大为缩短，降低成本，夹持杆的强度增加，行波管的输出功率比使用氧化铍夹持杆明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 行波 金刚石 金属 复合 夹持 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于行波管的金刚石‑金属复合式夹持杆，其特征在于，该夹持杆形状为一根矩形截面长条杆料，沿杆的轴向平行并列着两个层面，其一个层面为金属基底，另一层面为紧附着在金属基底上的金刚石。
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