[发明专利]可拆式阴极试验装置有效
申请号: | 201210332955.8 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN103674317A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 黄俊杰 | 申请(专利权)人: | 昆山国力真空电器有限公司 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00;G01R31/00 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215301 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种可拆式阴极试验装置,包括石英钟罩、支撑板、排气管和电极组件,所述石英钟罩可拆卸设于所述支撑板上侧面上并形成一用于容置待测温阴极工件的密封空间,所述排气管和电极组件分别固设于所述支撑板上并连通所述密封空间。该可拆式阴极试验装置能重复使用,降低产品开发成本。 | ||
搜索关键词: | 可拆式 阴极 试验装置 | ||
【主权项】:
一种可拆式阴极试验装置,其特征在于:包括石英钟罩(1)、支撑板、排气管(2)和电极组件(3),所述石英钟罩可拆卸设于所述支撑板上侧面上并形成一用于容置待测温阴极工件(4)的密封空间(5),所述排气管和电极组件分别固设于所述支撑板上并连通所述密封空间。
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