[发明专利]硬盘用基板用研磨液组合物、基板的研磨方法和制造方法有效
| 申请号： | 201210334863.3 | 申请日： | 2006-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102863943A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 山口哲史 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;B24B37/04;G11B5/84 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬盘用基板用研磨液组合物，该研磨液组合物含有二氧化硅、酸、表面活性剂和水，其中(a)25℃时酸在水中的溶解度大于等于1g/100g饱和水溶液，(b)表面活性剂为以下述通式(1)所示的磺酸或其盐，且(c)研磨液组合物的pH值为0～4，所述表面活性剂的含量为0.005～2重量％，通式(1)中，R表示碳原子数为6～20的全氟烃基，X表示从芳香烃的芳香环去掉2个氢原子后的残基，n表示0或1。本发明还提供使用上述研磨液组合物来研磨、制造基板的方法以及降低基板的端面下垂的方法。R-(O)n-X-SO3H (1) | ||
| 搜索关键词： | 硬盘 用基板用 研磨 组合 方法 制造 | ||
【主权项】：
一种硬盘用基板用研磨液组合物，该研磨液组合物含有二氧化硅、酸、表面活性剂和水，其中(a)25℃时酸在水中的溶解度大于等于1g/100g饱和水溶液，(b)表面活性剂为以下述通式(1)所示的磺酸或其盐，且(c)研磨液组合物的pH值为0～4，所述表面活性剂的含量为0.005～2重量％，R‑(O)n‑X‑SO3H (1)通式(1)中，R表示碳原子数为6～20的全氟烃基，X表示从芳香烃的芳香环去掉2个氢原子后的残基，n表示0或1。
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