[发明专利]用于相变存储器的Al-Ge-Te相变材料无效
申请号: | 201210335059.7 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN102832339A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 任堃;饶峰;宋志棠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 许亦琳;余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于相变存储器的Al-Ge-Te相变材料,所述Al-Ge-Te相变材料的化学通式为Al100-x-yGexTey,其中50<x+y<100,0.25<x/y<4。Al-Ge-Te相变材料作为相变存储器中的存储介质,可以在电信号作用下实现高低阻值之间的转换。基于Al-Ge-Te相变材料的相变存储器在电信号的操作下,低阻阻值大于基于Ge-Te传统相变材料的器件低阻值,满足了低功耗的需求。并且Al-Ge-Te基相变存储器在循环擦写103次之后仍维持了正常的高低阻差别,体现出器件的循环使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 用于 相变 存储器 al ge te 材料 | ||
【主权项】:
一种用于相变存储器的Al‑Ge‑Te相变材料,其化学通式为Al100‑x‑yGexTey,其中50<x+y<100,0.25<x/y<4。
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