[发明专利]一种大口径窗口检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201210339686.8 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102889978A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 闫锋涛;范斌;伍凡;侯溪;万勇建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 贾玉忠;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种大口径窗口检测装置及检测方法，基于补偿器和子孔径拼接原理，包括相移干涉仪、补偿器、被测窗口、标准球面镜、调整机构及计算机系统；计算机系统与相移干涉仪连接，补偿器补偿被测窗口放入相移干涉仪与标准球面镜组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口通过调整机构进行调节，使相移干涉仪获得被测窗口上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，最后由安装在计算机系统上的数据处理软件对所得到的子区域透射波前信息进行拼接处理，获得被测窗口的全口径透射波前信息；本发明为高精度大口径窗口加工测量提供检测装置及检测方法，具有较大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 窗口 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种大口径窗口检测装置，其特征在于：包括相移干涉仪（1）、补偿器（2）、被测窗口（3）、标准球面镜（4）、调整机构（5）及计算机系统（6）；计算机系统（6）与相移干涉仪（1）连接，补偿器（2）位于相移干涉仪（1）和被测窗口（3）之间，被测窗口（3）放置在补偿器（2）位于与标准球面镜（4）之间，同时被测窗口（3）与调整机构（5）连接；补偿器（2）补偿被测窗口（3）放入相移干涉仪（1）与标准球面镜（4）组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口（3）通过调整机构（5）进行调节，使相移干涉仪（1）获得被测窗口（3）上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，计算机系统（6）对所得到的所述子区域透射波前信息进行拼接数据处理获得被测窗口（3）的全口径透射波前信息。
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