[发明专利]太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置有效
| 申请号： | 201210344047.0 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102842498A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 辛煜;唐中华;邹帅 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H01L21/3065 | 分类号： | H01L21/3065;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高了太阳能电池片的机械强度，大大降低了破损率；而且排放物很容易通过洗气装置实现符合环保要求的排放，可以满足大面积等离子体均匀处理的要求。该方法能够完全抛光初期制绒导致的绒面结构，表面结构分布均匀、光滑，这为下一步的多晶硅表面背电极钝化技术乃至提高光电转换效率奠定了必要的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 表面 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池制绒表面的抛光方法，其特征在于：采用射频激发的行波耦合等离子体对制绒表面进行抛光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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