[发明专利]高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件无效
| 申请号： | 201210345053.8 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102832159A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 李建平;房桂磊 | 申请（专利权）人： | 天津必利优科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;B65G47/91 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽英 |
| 地址： | 300451 天津市塘*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的高速取放，实现了小晶片的良好定位。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 微小 物体 组件 | ||
【主权项】：
高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，其特征在于：它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
