[发明专利]一种薄膜结构透明电极及其制备方法有效
申请号: | 201210346102.X | 申请日: | 2012-09-18 |
公开(公告)号: | CN102916103A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 江灏;伍伟聪;李剑飞 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L33/42 | 分类号: | H01L33/42;H01L33/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 林丽明;林伟斌 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种薄膜结构透明电极及其制备方法,所述薄膜结构透明电极包括与n型半导体形成肖特基接触的金属铱,或与p型半导体形成欧姆接触的氧化铱;在金属铱加入金属镍形成金属铱-金属镍-金属铱;在氧化铱中加入氧化镍形成氧化铱-氧化镍-氧化铱。本发明具备金属功函数大、熔点高、热稳定性好、透光性好、强抗腐蚀性及抗氧化性良好等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 结构 透明 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜结构透明电极,其特征在于,包括与n型半导体形成肖特基接触的金属铱,或与p型半导体形成欧姆接触的氧化铱。
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