[发明专利]一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法有效
| 申请号： | 201210346105.3 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102837369A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 谢小柱;魏昕;胡伟;黄福民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B23K26/36;B23K26/14;B23K26/42 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法，有如下步骤：在蓝宝石基片预先涂覆一层的水溶性覆层；在开始用绿激光切割前设定绿激光光束入射角度、焦点位置，设定同轴和侧向施加辅助气体喷嘴位置及施加辅助气体的压力；采用绿激光按一预定扫描速度和扫描次数扫描蓝宝石基片的表面形成切槽，在上述过程中同轴和侧向喷嘴同时施加辅助气体；再用裂片的方法将蓝宝石分割成小片；本发明采用激光辐照蓝宝石表面产生的光热耦合作用，以蒸发、熔融等形式为主去除材料，并伴有微小破碎材料去除，加工过程中通过预先涂覆水溶性覆层，并同时在轴向和侧向施加辅助气体来减少材料重凝和裂纹的产生，从而获得精细切槽，加工效率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 划片 蓝宝石 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于步骤如下：1）在蓝宝石基片预先涂覆一层的水溶性覆层；2）在开始用绿激光切割前设定绿激光光束入射角度、焦点位置，设定同轴和侧向施加辅助气体喷嘴位置及施加辅助气体的压力；3）采用绿激光按一预定扫描速度和扫描次数扫描蓝宝石基片的表面形成切槽，在上述过程中同轴和侧向喷嘴同时施加辅助气体；4）再用裂片的方法将蓝宝石分割成小片。
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