[发明专利]具备水冷却功能的区熔炉上轴有效
申请号: | 201210349312.4 | 申请日: | 2012-09-19 |
公开(公告)号: | CN102912419A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 傅林坚;曹建伟;陈明杰;王丹涛;石刚;欧阳鹏根;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/20 | 分类号: | C30B13/20;C30B13/32 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种非金属晶体制造设备,旨在提供一种具备水冷却功能的区熔炉上轴。该区熔炉上轴包括圆柱状主轴和挂料盘,所述主轴呈中空状,其上端部设上端盖,其下端部设主轴内芯;主轴内芯的底边与主轴的底边相接,其主体部分伸入至主轴内部且与主轴的内壁之间紧密配合;主轴内芯的底部由下端盖封闭,一个护套芯轴穿过下端盖中心,其一端接至主轴内芯的中心,另一端则接至挂料盘的中心;所述上端盖上设有进水通道和出水通道,进水通道或出水通道与一根通水钢管相接,通水钢管的另一端延伸至主轴内芯上端。本发明具有优良的水冷系统,可保证上轴运动的平稳,还可有效降低拉晶时熔融多晶料对上轴温度的影响,保护密封件。 | ||
搜索关键词: | 具备 水冷 功能 熔炉 | ||
【主权项】:
一种具备水冷却功能的区熔炉上轴,包括圆柱状主轴,以及挂料盘,其特征在于,所述主轴呈中空状,其上端部设上端盖,其下端部设主轴内芯;主轴内芯的底边与主轴的底边相接,其主体部分伸入至主轴内部且与主轴的内壁之间紧密配合;主轴内芯的底部由下端盖封闭,一个护套芯轴穿过下端盖中心,其一端接至主轴内芯的中心,另一端则接至挂料盘的中心;所述上端盖上设有进水通道和出水通道,进水通道或出水通道与一根通水钢管相接,通水钢管的另一端延伸至主轴内芯上端。
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