[发明专利]一种单面研磨抛光机的研磨抛光盘无效
申请号: | 201210350099.9 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN103659576A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 任明元;吴向明 | 申请(专利权)人: | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24D3/06 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹毅 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单面研磨抛光机的研磨抛光盘,包括垫盘,在所述垫盘上方设置的研抛盘,所述研抛盘为纯铜研抛盘,所述垫盘为不锈钢垫盘,所述研抛盘与所述垫盘之间用环氧树脂软胶粘接、固化复合成一个整体。本发明技术方案,采用铜盘复合粘接结构,弥补了因纯铜盘材质较软直接与水冷盘连接的强度问题,提高了铜盘连接紧固的可靠性和在工作运行中的稳定性;同时也提高了铜盘与垫盘若用其它机械方式的刚性连接或若由单一纯铜盘连接水冷盘时因盘面工作磨损的有效厚度,节约成本;该结构制备简单,固化后粘接强度高,复合成一个整体后使用性能好。 | ||
搜索关键词: | 一种 单面 研磨 抛光机 抛光 | ||
【主权项】:
一种单面研磨抛光机的研磨抛光盘,包括垫盘(1),在所述垫盘(1)上方设置的研抛盘(4),所述研抛盘(4)为纯铜研抛盘,所述垫盘(1)为不锈钢垫盘,所述研抛盘(4)与所述垫盘(1)之间用环氧树脂软胶(6)粘接、固化复合成一个整体。
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