[发明专利]具有翻转功能的工作台有效
申请号: | 201210350526.3 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN103659767A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;崔鋆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B25H1/18 | 分类号: | B25H1/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种具有翻转功能的工作台,包括:底座、下端连接于所述底座上的支撑立柱,以及设置于所述支撑柱上端、用于翻转靶材基板的翻转板。所述翻转板包括两块支撑板,所述两块支撑板相邻的两端活动连接,并通过一驱动装置调整两块支撑板所成的角度。使用过程中,通过所述两块支撑板之间的角度调整,从而调整所述两块支撑板表面的距离,以方便靶材基板的翻转。在此过程中,不仅可快速便捷地完成靶材基板翻转,还可有效避免靶材基板的形变和划伤现象出现,保证靶材基板的品质。 | ||
搜索关键词: | 具有 翻转 功能 工作台 | ||
【主权项】:
一种具有翻转功能的工作台,其特征在于,包括:底座、下端连接于所述底座上的支撑立柱;其中在所述支撑立柱上端设有用于翻转靶材基板的翻转板;所述翻转板包括两块支撑板,所述两块支撑板相邻的两端活动连接,并通过两者之间相对的转动调整两块支撑板所成的角度;所述工作台还包括驱动装置,所述驱动装置带动所述支撑板,实现所述两块支撑板的相对转动。
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