[发明专利]化学液混合装置及方法有效
| 申请号： | 201210350984.7 | 申请日： | 2012-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102847480A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 何金群;刘福生;王锐廷;裴立坤 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/10 | 分类号： | B01F13/10;B01F3/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学液混合装置及方法，所述化学液混合装置包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。本发明提供的化学液混合方法及装置，可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题，结构简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 混合 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种化学液混合装置，其特征在于，包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。
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